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方塊(kuài)電阻(zǔ)測試儀是(shì)四(sì)探(tàn)針方塊電阻測試儀(yí)中的新(xīn)代產品,門(mén)測(cè)量(liáng)半導(dǎo)體薄層(céng)電阻(zǔ)(麵(miàn)電阻(zǔ))的新型儀(yí)器(qì)可(kě)用(yòng)於測量般(bān)半(bàn)導體材料,導電薄膜(mó)(ITO透(tòu)明(míng)氧化膜(mó))……等物質(zhì)的薄(báo)層電阻(zǔ)。
方塊電(diàn)阻(zǔ)測試儀(yí)是(shì)種依照類似(sì)的家標(biāo)準和(hé)美A.S.T.M標準,門測(cè)量(liáng)半導體薄層(céng)電阻(麵(miàn)電(diàn)阻)的(dí)新(xīn)型儀(yí)器,可(kě)用於測量(liáng)般半導(dǎo)體(tǐ)材料(liào),導電薄膜(ITO透明(míng)氧化(huà)膜),金屬(shǔ)薄膜(mó)……等物(wù)質的(dí)薄(báo)層電阻。
該儀(yí)器以大規模集成電路(lù)為主要核心(xīn);用(yòng)基準(zhǔn)電源和(hé)運算放(fàng)大器組成度穩源(yuán);帶回(huí)路有(yǒu)效(xiào)正常(cháng)示電路;並配(pèi)以(yǐ)大型LCD顯示讀數(shù),使(shǐ)儀(yí)器具(jù)有(yǒu)體(tǐ)積(jī)小(xiǎo),重(zhòng)量(liáng)輕,外形美,易操作,測量速度(dù)快,度的(dí)點。
雙(shuāng)電(diàn)測四探針測(cè)試儀(yí)采用了四探針雙位組合(hé)測量,利用電(diàn)探針(zhēn),電(diàn)壓(yā)探針的變換,行兩(liǎng)次(cì)電(diàn)測(cè)量,能自(zì)動消除樣品幾何(hé)尺寸,邊(biān)界效應以(yǐ)及探(tàn)針不等距(jù)和(hé)機械遊(yóu)移等(děng)因(yīn)素對(duì)測量(liáng)結(jié)果(guǒ)的(dí)影響,從(cóng)而(ér)提了(liǎo)測(cè)量(liáng)結果(guǒ)的(dí)準確(què)度。
雙電(diàn)測四探針測(cè)試(shì)儀采(cǎi)用了(liǎo)四探針雙(shuāng)電測組合(亦稱雙位(wèi)組(zǔ)合)測量新,將(jiāng)範(fàn)德堡測量方法推廣應(yīng)用(yòng)到直(zhí)綫四(sì)探(tàn)針(zhēn)上(shàng),利用電探針,電(diàn)壓(yā)探(tàn)針(zhēn)的變(biàn)換(huàn),在(zài)計(jì)算(suàn)機控(kòng)製下行兩次(cì)電(diàn)測量(liáng),能自動消除樣(yàng)品幾何尺寸,邊界(jiè)效應以及探針(zhēn)不(bù)等(děng)距和(hé)機(jī)械(xiè)遊移等(děng)因(yīn)素對(duì)測量(liáng)結果的影(yǐng)響。因而每次測量不知道探針間距,樣品(pǐn)尺寸及探(tàn)針在樣品表(biǎo)麵上(shàng)的位置。由於(yú)每次測(cè)量(liáng)都是對幾何(hé)因素的(dí)影響行動態的自動修正(zhèng),因此顯(xiǎn)著降低了幾(jī)何(hé)因素影響(xiǎng),從而提
雙電測四探針(zhēn)測試儀采(cǎi)用了四探針雙電測組(zǔ)合(亦(yì)稱雙位組(zǔ)合)測(cè)量新(xīn),將(jiāng)範(fàn)德(dé)堡(bǎo)測(cè)量(liáng)方(fāng)法推廣(guǎng)應用(yòng)到(dào)直(zhí)綫四(sì)探針(zhēn)上(shàng),利用(yòng)電探(tàn)針(zhēn),電(diàn)壓探針的變(biàn)換,在計算(suàn)機控(kòng)製下(xià)行(háng)兩次電測量(liáng),能自(zì)動(dòng)消除(chú)樣品幾(jī)何尺寸,邊界(jiè)效應以(yǐ)及探(tàn)針不等(děng)距和機械(xiè)遊移(yí)等(děng)因素對測量結果的影(yǐng)響(xiǎng)。因而每(měi)次測量(liáng)不知道探針間(jiān)距(jù),樣品尺寸(cùn)及探(tàn)針(zhēn)在樣(yàng)品(pǐn)表麵(miàn)上的位置。由(yóu)於每(měi)次(cì)測量都是對幾何(hé)因(yīn)素的(dí)影(yǐng)響(xiǎng)行動(dòng)態的自動修正,因此顯(xiǎn)著(zhù)降(jiàng)低了幾何因(yīn)素(sù)影響,從而(ér)提(tí)