描(miáo)述(shù)：GSZ-RTS-4型(xíng)數字式四探針測(cè)試儀是運用四探針(zhēn)測(cè)量(liáng)原理的多用(yòng)途(tú)綜合(hé)測(cè)量(liáng)設備(bèi)。該(gāi)儀(yí)器按(àn)照單晶矽物(wù)理測試方法(fǎ)家標準(zhǔn)並參(cān)考(kǎo)美 A.S.T.M 標準(zhǔn)而(ér)的，用(yòng)於測試半(bàn)導體材料電(diàn)阻(zǔ)率及(jí)方(fāng)塊(kuài)電阻(zǔ)(薄(báo)層電阻(zǔ))的用儀(yí)器。
廠商(shāng)性質
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2024-04-16訪(fǎng)問(wèn)量
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詳(xiáng)細介(jiè)紹
| 品(pǐn)牌 | 恒奧德(dé) |
|---|
| 測(cè)量(liáng)範圍 | 電(diàn)阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）； 方塊(kuài)電(diàn)阻(zǔ)：0.01～2000Ω/□（可擴展(zhǎn)）； 電(diàn)導(dǎo)率(shuài)：0.005～1000 s/cm； 電(diàn)阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可(kě)測晶片直(zhí)徑 | 140mmX150mm（配(pèi)S-2A型測試(shì)台）； 200mmX200mm（配S-2B型(xíng)測試(shì)台(tái)）； 400mmX500mm（配S-2C型測試台）； |
| 恒源 | 電量(liáng)程(chéng)分(fēn)為(wéi)0.1mA，1mA，10mA，100mA四(sì)檔，各檔電連(lián)續可(kě)調(tiáo) |
| 數字電(diàn)壓表 | 量(liáng)程(chéng)及表示形(xíng)式：000.00～199.99mV； 分辨(biàn)力：10μV； 輸(shū)入(rù)阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯(xiǎn)示：四位半(bàn)紅色發(fā)光管(guǎn)數字(zì)顯示(shì)；性(xìng)，量(liáng)程自動顯示； |
| 四探針(zhēn)探(tàn)頭(tóu)基本(běn)標 | 間距(jù)：1±0.01mm； 針間緣(yuán)電(diàn)阻(zǔ)：≥1000MΩ； 機械遊移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢(wū)或速鋼(gāng)Ф0.5mm； 探針(zhēn)壓力(lì)：5～16 牛頓（總(zǒng)力）； |
| 四探針探頭(tóu)應(yīng)用(yòng)參數 | （見探(tàn)頭附帶的合(hé)格證） |
| 模(mó)擬電(diàn)阻測(cè)量相(xiāng)對誤差(chà) （ 按(àn)JJG508-87行(háng)） | 0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小(xiǎo)於(yú)等於(yú)0.3%±1字 |
| 整(zhěng)機測量zui大相(xiāng)對誤差(chà) | （用矽標樣(yàng)片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±5% |
| 整(zhěng)機測量(liáng)標(biāo)準(zhǔn)不確定(dìng)度(dù) | ≤5% |
| 計算(suàn)機通訊接口 | 並口(kǒu) |
| 標準(zhǔn)使用(yòng)環境 | 溫(wēn)度(dù)：23±2℃； 相對濕(shī)度(dù)：≤65%； 無(wú)頻幹擾； 無強光直射； |
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