當(dāng)前(qián)位置：首頁 > 產(chǎn)品中心(xīn) > 專(zhuān)用儀(yí)器(qì)儀(yí)表 > 消(xiāo)解儀(yí) > GSZ-RTS-4四探針測試儀(yí)/四探針(zhēn)電阻率(shuài)測試儀(yí)/四探針(zhēn)檢測儀/單(dān)測四探針(zhēn)檢(jiǎn)測(cè)儀（接電腦(nǎo)
描(miáo)述(shù)：GSZ-RTS-4型(xíng)數字(zì)式(shì)四探(tàn)針(zhēn)測試儀是(shì)運(yùn)用四探針測量原理的(dí)多用途(tú)綜合(hé)測量(liáng)設備。該(gāi)儀器按照單晶矽物理測試方法家標準並(bìng)參(cān)考(kǎo)美(měi) A.S.T.M 標(biāo)準而的，用(yòng)於測(cè)試半導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料電阻(zǔ)率(shuài)及方(fāng)塊(kuài)電阻(薄層(céng)電(diàn)阻(zǔ))的用儀(yí)器(qì)。
廠(chǎng)商性質
生(shēng)產廠家更(gēng)新(xīn)時(shí)間
2024-04-15訪(fǎng)問(wèn)量
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詳細介紹(shào)
| 品牌(pái) | 恒(héng)奧德 |
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四(sì)探針(zhēn)測(cè)試儀(yí)/四(sì)探針電阻率測(cè)試(shì)儀(yí)/四探(tàn)針檢測(cè)儀(yí)/單測四探針(zhēn)檢測儀(yí)（接電腦） 型號(hào)：GSZ-RTS-4（SDY-4替(tì)代）
GSZ-RTS-4型數(shù)字式四(sì)探針(zhēn)測試儀是(shì)運(yùn)用(yòng)四探針測(cè)量(liáng)原(yuán)理的多(duō)用(yòng)途綜合測(cè)量(liáng)設備(bèi)。該儀(yí)器(qì)按照(zhào)單(dān)晶(jīng)矽物理測(cè)試(shì)方(fāng)法(fǎ)家(jiā)標準(zhǔn)並參(cān)考美(měi) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而(ér)的，用於(yú)測(cè)試半導(dǎo)體材(cái)料(liào)電阻率及(jí)方(fāng)塊電(diàn)阻（薄層電阻(zǔ)）的用儀器。
儀(yí)器由主機(jī)，測試台，四(sì)探(tàn)針探頭(tóu)，計算機(jī)等(děng)分組成(chéng)，測量(liáng)數據既(jì)可由主(zhǔ)機(jī)直(zhí)接(jiē)顯(xiǎn)示，亦(yì)可由(yóu)計(jì)算(suàn)機(jī)控(kòng)製測(cè)試采集(jí)測(cè)試(shì)數(shù)據(jù)到計(jì)算機中加(jiā)以(yǐ)分(fēn)析，然(rán)後以表格，圖形(xíng)方式統計(jì)分(fēn)析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了(liǎo)電子(zǐ)行(háng)，裝配(pèi)。具(jù)有能(néng)選擇直(zhí)觀(guān)，測量(liáng)取數(shù)快(kuài)，度(dù)，測量(liáng)範圍(wéi)寬，穩定性好(hǎo)，結(jié)構緊(jǐn)湊，易操作等點。
本儀(yí)器適(shì)用於半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)廠(chǎng)，半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)器(qì)件(jiàn)廠(chǎng)，科研單位，等院(yuàn)校(xiào)對半導體(tǐ)材(cái)料的(dí)電(diàn)阻(zǔ)性能測試。
GSZ-RTS-4型四(sì)探針(zhēn)軟(ruǎn)件測試(shì)係(xì)統(tǒng)是(shì)個(gè)運行在(zài)計算機(jī)上擁(yōng)有友(yǒu)好(hǎo)測試界麵的(dí)用戶程序，通(tōng)過(guò)此測(cè)試程序(xù)輔助使用戶(hù)簡便(biàn)地(dì)行各(gè)項測試及獲得(dé)測(cè)試數(shù)據(jù)並(bìng)對測(cè)試數據行統(tǒng)計分(fēn)析。
測試(shì)程序控製(zhì)四探針測試儀(yí)行測(cè)量並采(cǎi)集測試(shì)數據，把(bǎ)采集到的(dí)數據在計算(suàn)機中加(jiā)以分(fēn)析(xī)，然後(hòu)把(bǎ)測試(shì)數據以表(biǎo)格，圖(tú)形直(zhí)觀(guān)地記錄，顯示(shì)出(chū)來(lái)。用戶可對采(cǎi)集到(dào)的(dí)數(shù)據(jù)在(zài)電腦中保存(cún)或者打(dǎ)印以(yǐ)備(bèi)日後參考和查(chá)看(kàn)，還(huán)可以(yǐ)把采集到(dào)的(dí)數(shù)據輸出(chū)到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)行各種(zhǒng)數(shù)據分析(xī)
參數：
| 測量(liáng)範(fàn)圍(wéi) | 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）； 方塊(kuài)電(diàn)阻：0.01～2000Ω/□（可擴展(zhǎn)）； 電(diàn)導率：0.005～1000 s/cm； 電(diàn)阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可測晶(jīng)片直(zhí)徑 | 140mmX150mm（配(pèi)S-2A型(xíng)測(cè)試台）； 200mmX200mm（配S-2B型測試(shì)台）； 400mmX500mm（配(pèi)S-2C型(xíng)測試台(tái)）； |
| 恒源(yuán) | 電(diàn)量(liáng)程(chéng)分(fēn)為0.1mA，1mA，10mA，100mA四檔(dàng)，各(gè)檔電連(lián)續(xù)可調 |
| 數字(zì)電(diàn)壓表 | 量程及(jí)表(biǎo)示(shì)形(xíng)式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入(rù)阻抗(kàng)：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯(xiǎn)示(shì)：四位半紅色(sè)發光管數字顯示(shì)；性，量(liáng)程自(zì)動顯(xiǎn)示(shì)； |
| 四探針(zhēn)探(tàn)頭基本(běn)標 | 間(jiān)距：1±0.01mm； 針間(jiān)緣電(diàn)阻(zǔ)：≥1000MΩ； 機械(xiè)遊移率：≤0.3%； 探針：碳化(huà)鎢(wū)或速(sù)鋼(gāng)Ф0.5mm； 探針壓(yā)力(lì)：5～16 牛頓（總(zǒng)力）； |
| 四(sì)探針探頭(tóu)應用參數 | （見(jiàn)探(tàn)頭(tóu)附帶(dài)的合(hé)格(gé)證(zhèng)） |
| 模擬電(diàn)阻測量(liáng)相(xiāng)對誤差 （ 按JJG508-87行） | 0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小於等於(yú)0.3%±1字(zì) |
| 整(zhěng)機測(cè)量zui大相(xiāng)對(duì)誤(wù)差 | （用矽標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整(zhěng)機測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度(dù) | ≤5% |
| 計算機(jī)通訊接口(kǒu) | 並口(kǒu) |
| 標準使(shǐ)用(yòng)環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相(xiāng)對濕(shī)度：≤65%； 無頻(pín)幹(gān)擾(rǎo)； 無強光直射(shè)； |
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