四探針測試儀 四探針(zhēn)檢(jiǎn)測(cè)儀 四探針測定儀(yí)/四探針電阻率(shuài)測(cè)定儀(yí)  型號(hào)：HARTS-8

HARTS-8型(xíng)數字式(shì)四探針測試(shì)儀是(shì)運(yùn)用(yòng)四(sì)探(tàn)針(zhēn)測(cè)量原理(lǐ)的多用途(tú)綜(zōng)合測(cè)量(liáng)設(shè)備。該儀(yí)器按(àn)照單晶(jīng)矽物理(lǐ)測試(shì)方(fāng)法家標準並(bìng)參考(kǎo)美 A.S.T.M 標準(zhǔn)而的，用(yòng)於(yú)測試半導體材料電(diàn)阻率(shuài)及方塊(kuài)電阻(zǔ)（薄層電阻）的用儀器。
儀器(qì)由(yóu)主(zhǔ)機，測(cè)試(shì)台，四(sì)探針(zhēn)探(tàn)頭，計算機等分組成(chéng)，測量數(shù)據既可由(yóu)主機直接(jiē)顯(xiǎn)示，亦可由計算(suàn)機(jī)控(kòng)製測試(shì)采(cǎi)集(jí)測試數據(jù)到(dào)計(jì)算機(jī)中(zhōng)加以分析，然後以表格，圖形方式統計(jì)分析(xī)顯(xiǎn)示(shì)測(cè)試(shì)結果(guǒ)。
儀器采(cǎi)用了電子(zǐ)行，裝配。具有(yǒu)能(néng)選(xuǎn)擇(zé)直觀，測量(liáng)取數快(kuài)，度(dù)，測量範(fàn)圍(wéi)寬，穩定性好(hǎo)，結構緊(jǐn)湊，易操作(zuò)等點。
本儀(yí)器適用(yòng)於(yú)半導體(tǐ)材(cái)料廠，半導體器件(jiàn)廠，科(kē)研單(dān)位(wèi)，等院(yuàn)校對半導體(tǐ)材料(liào)的(dí)電(diàn)阻性能測試。

　術(shù)　　標(biāo) ：

測(cè)量(liáng)範圍 電阻(zǔ)率：10-4～105 Ω.cm（可(kě)擴(kuò)展(zhǎn)）；
方(fāng)塊電(diàn)阻：10-3～106 Ω/□（可擴展(zhǎn)）；
電(diàn)導(dǎo)率(shuài)：10-5～104 s/cm；
電阻(zǔ)：10-4～105 Ω；

可(kě)測晶(jīng)片(piàn)直(zhí)徑 140mmX150mm（配S-2A型測試台(tái)）；
200mmX200mm（配(pèi)S-2B型測(cè)試台）；
400mmX500mm（配(pèi)S-2C型(xíng)測(cè)試(shì)台）；
恒(héng)源 電量(liáng)程分為(wéi)1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六檔，各(gè)檔(dàng)電連(lián)續可(kě)調(tiáo)
數字電(diàn)壓(yā)表 量(liáng)程(chéng)及(jí)表(biǎo)示形式：000.00～199.99mV；　　　　
分辨力(lì)：10μV；
輸入(rù)阻抗(kàng)：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
顯示(shì)：四位半紅色(sè)發光管數(shù)字顯示；性(xìng)，量程(chéng)自(zì)動(dòng)顯(xiǎn)示(shì)；
四(sì)探針(zhēn)探(tàn)頭基本標 間(jiān)距：1±0.01mm；
針間(jiān)緣電阻：≥1000MΩ；
機械遊移率(shuài)：≤0.3%；
探針：碳化鎢(wū)或(huò)速鋼Ф0.5mm；
探針壓(yā)力：5～16 牛(niú)頓（總(zǒng)力(lì)）；
四(sì)探針(zhēn)探(tàn)頭(tóu)應用(yòng)參數(shù) （見探頭(tóu)附帶的合格證）
模擬(nǐ)電阻測量(liáng)相對誤(wù)差
（ 按JJG508-87行） 0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3%±1字(zì)
整(zhěng)機(jī)測量zui大相對(duì)誤差(chà) （用(yòng)矽標樣(yàng)片(piàn)：0.01-180Ω.cm測試(shì)）≤±5%
整機測量標(biāo)準不(bù)確(què)定度(dù) ≤5%
計算機通(tōng)訊接口 並(bìng)口
標(biāo)準(zhǔn)使用環境(jìng) 溫(wēn)度：23±2℃；
相對(duì)濕(shī)度(dù)：≤65%；
無(wú)頻幹(gān)擾(rǎo)；
無強光直射(shè)；


配置(zhì) 四探(tàn)針(zhēn)測(cè)試(shì)儀(yí)主機(jī)，探針(zhēn)台，四(sì)探(tàn)針探頭(tóu)，

北(běi)京(jīng)恒奧德儀(yí)器(qì)儀(yí)表(biǎo)有限公(gōng)司
：鵬
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