
當(dāng)前(qián)位置(zhì):首頁 > 產(chǎn)品中心 > 專(zhuān)用儀器(qì)儀(yí)表 > 測(cè)定(dìng)儀(yí) > HARTS-8四(sì)探針電(diàn)阻(zǔ)率測定(dìng)儀

描(miáo)述(shù):HARTS-8型數字(zì)式(shì)四(sì)探針測試儀(yí)/四探針電阻率(shuài)測(cè)定儀是運用四探針測(cè)量原(yuán)理(lǐ)的(dí)多用途綜合(hé)測量設備。該(gāi)儀器按照單晶矽物(wù)理(lǐ)測試(shì)方法(fǎ)家(jiā)標準並參考(kǎo)美 A.S.T.M 標(biāo)準而的,用(yòng)於(yú)測(cè)試半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)電阻率及方塊電阻(zǔ)(薄層電(diàn)阻)的用(yòng)儀器。
廠商(shāng)性質
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2026-06-17訪問(wèn)量(liáng)
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詳(xiáng)細介(jiè)紹
| 品(pǐn)牌(pái) | 恒(héng)奧(ào)德(dé) | 產(chǎn)地類(lèi)別(bié) | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域(yù) | 環保,化(huà)工,生物產業(yè),能源,製藥/生(shēng)物製藥 |
四探針(zhēn)測試儀 四(sì)探針檢(jiǎn)測(cè)儀 /四探針電阻(zǔ)率(shuài)測(cè)定儀(yí) 型號:HARTS-8
HARTS-8型數字(zì)式四(sì)探針測試(shì)儀(yí)是運(yùn)用(yòng)四探(tàn)針(zhēn)測量原理(lǐ)的(dí)多用途(tú)綜(zōng)合測量設(shè)備(bèi)。該儀(yí)器按照(zhào)單(dān)晶(jīng)矽(guī)物理測(cè)試方法家(jiā)標準(zhǔn)並參(cān)考(kǎo)美(měi) A.S.T.M 標準而的,用於測試半導(dǎo)體(tǐ)材料電阻率及方(fāng)塊電(diàn)阻(薄(báo)層電阻(zǔ))的用儀器。
儀(yí)器由主機,測試台,四(sì)探針探(tàn)頭,計算機等(děng)分(fēn)組成(chéng),測量數據(jù)既可由(yóu)主機直(zhí)接顯示,亦可(kě)由(yóu)計算機控(kòng)製(zhì)測試(shì)采集(jí)測試數(shù)據到(dào)計算機中加以分(fēn)析(xī),然後以(yǐ)表格(gé),圖(tú)形(xíng)方式(shì)統(tǒng)計分(fēn)析顯示測(cè)試(shì)結(jié)果(guǒ)。
儀(yí)器采(cǎi)用(yòng)了電子行(háng),裝(zhuāng)配(pèi)。具有能(néng)選(xuǎn)擇(zé)直觀,測(cè)量取(qǔ)數快,度,測量(liáng)範圍寬,穩定性好,結(jié)構緊(jǐn)湊(còu),易操作(zuò)等(děng)點(diǎn)。
本儀器適(shì)用(yòng)於半導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)廠,半導體器(qì)件廠(chǎng),科研(yán)單位(wèi),等院(yuàn)校(xiào)對(duì)半導體(tǐ)材料的電阻(zǔ)性(xìng)能(néng)測試。
/四探(tàn)針電阻(zǔ)率測定儀(yí)術 標 :
測(cè)量範圍 電(diàn)阻(zǔ)率(shuài):10-4~105 Ω.cm(可(kě)擴(kuò)展);
方塊電阻:10-3~106 Ω/□(可(kě)擴(kuò)展(zhǎn));
電導率:10-5~104 s/cm;
電(diàn)阻(zǔ):10-4~105 Ω;
可(kě)測晶片(piàn)直徑(jìng) 140mmX150mm(配(pèi)S-2A型(xíng)測試台(tái));
200mmX200mm(配(pèi)S-2B型測(cè)試台);
400mmX500mm(配S-2C型測試台);
恒源(yuán) 電(diàn)量(liáng)程分為1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA六(liù)檔(dàng),各檔電連(lián)續(xù)可調
數(shù)字電壓表(biǎo) 量程(chéng)及表示形(xíng)式(shì):000.00~199.99mV;
分辨力(lì):10μV;
輸入(rù)阻抗(kàng):>1000MΩ;
度(dù):±0.1% ;
顯(xiǎn)示(shì):四位(wèi)半紅色(sè)發光(guāng)管(guǎn)數(shù)字(zì)顯示;性,量(liáng)程(chéng)自(zì)動(dòng)顯示;
四探(tàn)針探頭(tóu)基(jī)本(běn)標 間距:1±0.01mm;
針(zhēn)間緣電(diàn)阻:≥1000MΩ;
機械(xiè)遊移率(shuài):≤0.3%;
探針(zhēn):碳化鎢(wū)或(huò)速(sù)鋼(gāng)Ф0.5mm;
探針壓(yā)力:5~16 牛頓(總(zǒng)力);
四(sì)探(tàn)針探(tàn)頭應用參(cān)數 (見(jiàn)探頭(tóu)附(fù)帶(dài)的合格證)
模(mó)擬電阻(zǔ)測量相對(duì)誤差(chà)
( 按JJG508-87行) 0.01Ω,0.1Ω,1Ω,10Ω,100Ω,1000Ω,10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差 (用矽(guī)標樣片(piàn):0.01-180Ω.cm測試(shì))≤±5%
整(zhěng)機測量(liáng)標準不(bù)確(què)定度 ≤5%
計算(suàn)機(jī)通(tōng)訊(xùn)接口 並口(kǒu)
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫(wēn)度(dù):23±2℃;
相(xiāng)對(duì)濕(shī)度:≤65%;
無(wú)頻幹擾(rǎo);
無強(qiáng)光直射(shè);
配(pèi)置 四探針測(cè)試(shì)儀(yí)主機,探針(zhēn)台,四探(tàn)針(zhēn)探頭(tóu),
2.
![]() | 產品名稱:COD恒溫消解(jiě)器(qì)/COD加熱器 產品型號(hào):HL1000 |
COD恒(héng)溫消解(jiě)器/COD加(jiā)熱器型號(hào):HL1000
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