四(sì)探針電阻率測試儀   型號：KDK-KDY-1

四(sì)探(tàn)針電阻率/方(fāng)阻測(cè)試儀（以下(xià)簡稱電阻(zǔ)率(shuài)測(cè)試(shì)儀(yí)）是用來測量半導體(tǐ)材(cái)料（主(zhǔ)要是矽(guī)單晶(jīng)，鍺單(dān)晶，矽片(piàn)）電阻率(shuài)，以(yǐ)及擴(kuò)散層，外延(yán)層，ITO導電(diàn)箔膜，導電橡(xiàng)膠(jiāo)方塊電(diàn)阻的測(cè)量(liáng)儀(yí)器。它(tā)主(zhǔ)要由電(diàn)氣測量份（簡稱(chēng)：主(zhǔ)機(jī)），測試(shì)架及四(sì)探針頭組(zǔ)成。
本儀器的點是主機(jī)配置(zhì)雙數(shù)字表，在(zài)測量電(diàn)阻率(shuài)的(dí)同時(shí)，另(lìng)塊數(shù)字表(biǎo)（以(yǐ)分之(zhī)幾的(dí)度）適時監測程(chéng)的(dí)電變化，免(miǎn)除了測(cè)量(liáng)電/測量電阻(zǔ)率的轉換(huàn)，更及時(shí)掌(zhǎng)控測量(liáng)電(diàn)。主(zhǔ)機(jī)還提供度為0.05%的(dí)恒源(yuán)，使測量(liáng)電(diàn)度(dù)穩定。本機(jī)配(pèi)有(yǒu)恒源(yuán)開關，在測量某(mǒu)些(xiē)箔(bó)層材(cái)料時，可(kě)免(miǎn)除探(tàn)針尖與(yǔ)被測(cè)材料之間接(jiē)觸(chù)火花的(dí)發生，地保護箔膜。儀(yí)器配置(zhì)了本公(gōng)司(sī)的產品：“小(xiǎo)遊(yóu)移(yí)四(sì)探針頭(tóu)"，探針遊移(yí)率在0.1～0.2%。保證了(liǎo)儀(yí)器測(cè)量(liáng)電阻率的重(zhòng)復性和準確(què)度(dù)。本(běn)機如(rú)加配HQ-710E數據處理器，測量(liáng)矽片(piàn)時(shí)可自動行厚度，直徑，探針間(jiān)距的修正，並計算(suàn)，打(dǎ)印出矽片(piàn)電阻率，徑向電阻率的百分(fēn)變(biàn)化，平(píng)均(jūn)百分(fēn)變化，徑向電(diàn)阻(zǔ)率不(bù)均(jūn)習庋。給測量帶來很(hěn)大方便。
2，四探(tàn)針電阻率測試(shì)儀主(zhǔ)機(jī)能數(shù)
（1）測量範圍(wéi)：
可測電阻(zǔ)率(shuài)：0.0001～19000Ω•cm
可測(cè)方塊電阻(zǔ)：0.001～1900Ω•□
（2）恒源：
輸出電(diàn)：DC 0.001～100mA 五檔(dàng)連續(xù)可調
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒度：各(gè)檔均(jūn)低於±0.05%
（3）直(zhí)數(shù)字(zì)電(diàn)壓(yā)表(biǎo)：
測(cè)量(liáng)範圍(wéi)：0～199.99mV
靈敏度(dù)：10μV
基(jī)本(běn)誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供(gōng)電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫(wēn)度(dù)：23±2℃ 相對(duì)濕度(dù)：≤65%
無較強的電場幹(gān)擾(rǎo)，無(wú)強(qiáng)光直接(jiē)照射(shè)
（6）重(zhòng)量(liáng)，體積(jī)：
主(zhǔ)機重量：7.5kg
體(tǐ)積：365×380×160（單位：mm 長(cháng)度(dù)×寬度×度(dù)）

備(bèi)注(zhù)：
等(děng)測(cè)量(liáng)時（測電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)），度<3%
電(diàn)氣測(cè)量時（測電(diàn)阻），度(dù)在(zài)0.3%以內(nèi)