雙(shuāng)電測四探(tàn)針測試儀/四(sì)探針測試(shì)儀/四探針檢測儀(yí)/雙(shuāng)電(diàn)測四(sì)探(tàn)針(zhēn)測定(dìng)儀(yí)/雙電測四探(tàn)針(zhēn)電(diàn)阻率測(cè)試儀(yí) 型(xíng)號：GSZ-RTS-9
采用了四探(tàn)針雙電測(cè)組(zǔ)合(hé)(亦稱雙(shuāng)位(wèi)組合(hé))測(cè)量新,將(jiāng)範德(dé)堡測量方(fāng)法推(tuī)廣應用到直綫四探針(zhēn)上,利用電探(tàn)針，電壓(yā)探(tàn)針的(dí)變換，在(zài)計(jì)算(suàn)機控製(zhì)下行兩次電測量，能(néng)自(zì)動(dòng)消除樣品幾(jī)何尺寸(cùn)，邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械遊移等因素(sù)對(duì)測(cè)量結果(guǒ)的影(yǐng)響。因(yīn)而每次測(cè)量不(bù)知道(dào)探針間(jiān)距，樣(yàng)品(pǐn)尺寸(cùn)及探針在樣品(pǐn)表麵上的(dí)位置。由(yóu)於(yú)每(měi)次測量都是對幾(jī)何因(yīn)素(sù)的影響行動態(tài)的(dí)自動(dòng)修正(zhèng)，因(yīn)此顯(xiǎn)著降(jiàng)低了幾何因素(sù)影(yǐng)響，從(cóng)而提了測量(liáng)結果的準(zhǔn)確度(dù)。所有(yǒu)這些(xiē)，用目前(qián)大(dà)量使用(yòng)的(dí)常(cháng)規四(sì)探針測(cè)量(liáng)方(fāng)法所的(dí)儀器(qì)是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的(dí)。
是(shì)個(gè)運(yùn)行在(zài)計(jì)算機上擁有友(yǒu)好測(cè)試(shì)界麵的(dí)用(yòng)戶程序(xù)。測試程(chéng)序(xù)在計算機與RTS-9型四探針(zhēn)測(cè)試(shì)儀(yí)連接的(dí)狀態下(xià)，通(tōng)過計(jì)算機(jī)的(dí)並(bìng)口(kǒu)實(shí)現通訊(xùn)。
測(cè)試程序(xù)控製四探針測試儀行測量(liáng)並實時(shí)采集(jí)兩次(cì)組(zǔ)合(hé)模式(shì)下的(dí)測試數據(jù)，把采集到的(dí)數據在(zài)計(jì)算機(jī)中加(jiā)以(yǐ)分析(xī)，然後把(bǎ)測(cè)試數(shù)據(jù)以(yǐ)表(biǎo)格，圖(tú)形直觀(guān)地(dì)記錄，顯(xiǎn)示(shì)出來。用戶可對采(cǎi)集到的數據(jù)在(zài)電腦(nǎo)中保(bǎo)存或(huò)者(zhě)打(dǎ)印以備日後參考和(hé)查(chá)看，還可以把(bǎ)采集(jí)到的數(shù)據(jù)輸出(chū)到(dào)Excel中(zhōng)，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)行(háng)各種數據(jù)分析(xī)
測量(liáng)範(fàn)圍 | 電阻(zǔ)率(shuài)：10-5～105 Ω.cm(可(kě)擴(kuò)展)； |
可測晶(jīng)片厚(hòu)度(dù) | ≤3mm |
可測晶片直(zhí)徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試台)； |
恒源(yuán) | 電量(liáng)程(chéng)分(fēn)為1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六(liù)檔(dàng)，各檔(dàng)電連續可調 |
數字(zì)電壓表(biǎo) | 量程及表(biǎo)示形式：000.00～199.99mV； |
四探(tàn)針(zhēn)探頭(tóu)基(jī)本標 | 間距(jù)：1±0.01mm； |
四探針探(tàn)頭應(yīng)用(yòng)參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電(diàn)阻測(cè)量相對誤差 | 0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測量(liáng)zui大相(xiāng)對誤(wù)差 | (用(yòng)矽(guī)標樣片(piàn)：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機(jī)測量(liáng)標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
計(jì)算機通(tōng)訊(xùn)接(jiē)口(kǒu) | 並(bìng)口 |
標(biāo)準使用環境 | 溫度(dù)：23±2℃； |
當前位(wèi)置(zhì)：