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自(zì)動(dòng)橢(tuǒ)圓偏振(zhèn)測(cè)厚儀/橢(tuǒ)圓(yuán)偏振測(cè)厚(hòu)儀/測(cè)厚(hòu)儀

更新時間:2013-01-07  |  點(diǎn)擊率(shuài):393

自(zì)動橢圓(yuán)偏振測(cè)厚儀/橢圓偏(piān)振測厚儀/測(cè)厚儀  型號(hào):TP-TPY-2

產(chǎn)品(pǐn)點:
儀器(qì)采用消(xiāo)光(guāng)法自動(dòng)測量薄膜(mó)厚度(dù)和折射(shè)率(shuài),具(jù)有度,靈(líng)敏度以及(jí)自(zì)動(dòng)控製等點(diǎn)。光源采用氦(hài)氖激光(guāng)器,率(shuài)穩定波(bō)長度(dù)。
儀器采用USB接(jiē)口與電腦(nǎo)連接(jiē),配(pèi)套(tào)軟件能齊(qí),具有(yǒu)多(duō)樣(yàng)數據采(cǎi)集及(jí)處理(lǐ)方(fāng)式(shì),適用(yòng)於不同(tóng)用戶的(dí)需(xū)要。
 
規格(gé)與主要標(biāo):
測量範圍:薄(báo)膜(mó)厚度範(fàn)圍(wéi)1nm-4000nm     折(zhē)射率範圍(wéi):1-10   
測量(liáng)zui小示(shì)值:≤1nm                  入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盤(pán)刻(kè)度:每格1度                    允許(xǔ)樣(yàng)品(pǐn)尺寸(cùn):φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏(piān)振器(qì)步角(jiǎo):0.014°/步               偏(piān)振(zhèn)器(qì)方位角範圍:0°- 180°    
測量(liáng)膜(mó)厚(hòu)和(hé)折(zhē)射率重(zhòng)復(fù)性度分(fēn)別(bié)為:0.5nm和0.005
儀(yí)器(qì)測量度:±0.5nm(薄(báo)膜厚度在10-100nm時(shí))
光學(xué)中心度:80mm   
 
成(chéng)套性(xìng):主(zhǔ)機(jī),電(diàn)控(kòng)係統(tǒng),USB接口(kǒu),配(pèi)套軟(ruǎn)件(需(xū)配(pèi)計算機(jī))
主(zhǔ)機重量:26kg    外形(xíng)尺寸:680*390*310mm

裝(zhuāng)箱單

序號

名(míng)      稱(chēng)  

規格或型(xíng)號

數(shù)量

備 注(zhù)

1

自動橢圓(yuán)偏振測(cè)厚儀主機(jī)

TP-TPY-2

1台(tái)

2

主(zhǔ)機電(diàn)控(kòng)箱

TP-TPY-2

1台(tái)

3

Q9連接綫

1根

4

數(shù)據(jù)連接綫(xiàn)

1根(gēn)

5

電源綫(xiàn)

2根

6

15綫連接(jiē)電纜

1根

7

USB連接電(diàn)纜

1根(gēn)

8

二氧(yǎng)化矽膜樣片

1張

軟件安裝盤(pán)

TP-TPY-2

1張

10

使用(yòng)說(shuō)明(míng)書

TP-TPY-2

1份

11

裝箱(xiāng)單

TP-TPY-2

1份(fèn)

12

產品合(hé)格證(zhèng)

TP-TPY-2

1份