橢(tuǒ)圓偏振測厚儀 偏(piān)振(zhèn)測(cè)厚(hòu)儀 測厚儀(yí) 型(xíng)號:TP-TPY-1
在(zài)近(jìn)代的許(xǔ)多域中對各(gè)種薄膜的(dí)研(yán)究(jiū)和(hé)應(yīng)用日(rì)益(yì)廣(guǎng)泛(fàn)。因此,更加和迅(xùn)速的(dí)測(cè)定給定(dìng)薄膜的光(guāng)學參數(shù)已變得更(gēng)加(jiā)迫(pò)切和(hé)重要(yào)。在實(shí)際(jì)作中可以(yǐ)利(lì)用各種傳統的(dí)方法測定光學(xué)參(cān)數,如:布儒斯(sī)角法測介質(zhì)膜的(dí)折射率,幹(gān)涉法測膜厚,其它測膜(mó)厚(hòu)的方法(fǎ)還有稱(chēng)重(zhòng)法,X射(shè)綫(xiàn)法(fǎ),電(diàn)容法(fǎ),橢(tuǒ)偏法等。由於橢圓(yuán)偏(piān)振法(fǎ)具有靈(líng)敏度,度,非(fēi)破壞性測(cè)量(liáng)等(děng)優點,因(yīn)而(ér),橢(tuǒ)圓偏振(zhèn)法測量已(yǐ)在光(guāng)學,半(bàn)導體(tǐ),生物(wù),學(xué)等諸多域得(dé)到廣泛(fàn)應用。
產品(pǐn)點(diǎn):
儀器采用(yòng)消光法(fǎ)自(zì)動測(cè)量薄(báo)膜厚度(dù)和折射(shè)率(shuài),具(jù)有(yǒu)度(dù),靈敏(mǐn)度(dù)以及方便(biàn)測(cè)量(liáng)等(děng)點;
光源采(cǎi)用氦氖激光(guāng)器(qì),率穩定(dìng),波(bō)長度;
儀(yí)器配有生成(chéng)表(biǎo),查表(biǎo)以及(jí)計算等軟(ruǎn)件(jiàn),方便用戶(hù)使用。
規(guī)格(gé)與主(zhǔ)要(yào)標:
測量範圍:薄(báo)膜厚(hòu)度範圍:1nm-300nm; 折(zhē)射(shè)率範(fàn)圍:1-10
測量(liáng)zui小示值(zhí):≤1nm 入射光波(bō)長:632.8nm
光(guāng)學(xué)中心:80mm 允許樣(yàng)品(pǐn)尺寸(cùn):φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振(zhèn)器方(fāng)位(wèi)角(jiǎo)範(fàn)圍(wéi):0°- 180°讀取(qǔ)分辨(biàn)率(shuài)為0.05°
測量膜(mó)厚和折射(shè)率重復(fù)性(xìng)度(dù)分別(bié)為:±1nm和±0.01
主機重(zhòng)量(liáng):25kg 入(rù)射角連(lián)續(xù)調節範圍(wéi):20°- 90°度(dù)為(wéi)0.05°
成(chéng)套(tào)性:主(zhǔ)機,電(diàn)控(kòng)係(xì)統,計算(suàn)軟(ruǎn)件(jiàn)
外形尺寸:680*390*320mm
北京恒(héng)奧德儀器儀(yí)表有限公(gōng)司
:51658042// /57196682 /57191006//
:曹
:hadgs2009
地(dì)址:北(běi)京市海(hǎi)澱區阜(fù)成路42號院(yuàn)6號C-211