皮(pí)拉(lā)尼電阻(zǔ)真空計 智能電(diàn)阻(zǔ)真空(kōng)計(jì) 電(diàn)阻(zǔ)真空(kōng)計 型(xíng)號：HAD-ZK

皮拉(lā)尼電(diàn)阻(zǔ)真空(kōng)計(jì)是(shì)一種低(dī)真(zhēn)空測量儀器。該儀器由(yóu)定溫式電阻(zǔ)真空(kōng)計組(zǔ)成，用於測量低(dī)真(zhēn)空。其(qí)使用(yòng)範圍在1.0×10⁵  ~    1.0×10^-1Pa。

儀(yí)器采(cǎi)用真空規管(guǎn)作(zuò)為傳(chuán)感(gǎn)器。穩定性好，不(bù)易損(sǔn)壞(huài)。

儀器(qì)采(cǎi)用微處(chǔ)理機完成測(cè)量(liáng)數(shù)據(jù)的(dí)采集和處(chǔ)理(lǐ)。具有(yǒu)自動非綫性(xìng)參(cān)數(shù)修(xiū)正(zhèng)和誤(wù)差補償(cháng)功(gōng)能，並(bìng)采(cǎi)用了(liǎo)光(guāng)電隔離，數字濾(lǜ)波，防高電壓衝(chōng)擊等技術，提(tí)高了(liǎo)測(cè)量精度及(jí)抗幹擾能(néng)力，特別對(duì)於(yú)電(diàn)子束(shù)，離(lí)子(zǐ)束(shù)以及(jí)弧放(fàng)電(diàn)等(děng)強幹擾(rǎo)源(yuán)都(dū)有非(fēi)凡(fán)的抗幹(gān)擾能力。  

每(měi)台真(zhēn)空計均設(shè)置(zhì)有兩組繼電器(qì)輸出接口，用來實現真空度(dù)定(dìng)值點(diǎn)和區(qū)域的控製。定值點及(jí)區域(yù)可(kě)方(fāng)便自(zì)由設定。本(běn)儀器通過觸(chù)摸開關輸(shū)入(rù)的(dí)預(yù)置參數掉電後(hòu)可(kě)保(bǎo)存，該儀(yí)器控(kòng)製麵板更人(rén)性(xìng)化，操作更(gēng)方便(biàn)，開電源(yuán)即可(kě)工作(zuò)。本機綫路(lù)設(shè)計(jì)合(hé)理(lǐ)，製作(zuò)工(gōng)藝(yì)考(kǎo)究，采(cǎi)用了(liǎo)整板(bǎn)設(shè)計(jì)，波(bō)峰焊(hàn)接(jiē)。

一． 主要(yào)技術指標  

1.    測量(liáng)與(yǔ)控製範(fàn)圍(wéi)：1.0×10⁵~1.0×10^-1Pa  

2.    測量誤差(chà)：（P-P0）/P0≤±15%  （2.0×10³Pa~1.0×10⁰Pa）  

3.    配用規管：連接(jiē)管(guǎn)外徑(jìng)15±0.5mm或法(fǎ)蘭盤接口(kǒu)

4.    采(cǎi)樣時(shí)間(jiān)：1S

5.    模擬輸出信(xìn)號：0~5V（可(kě)選(xuǎn)）

6.    控(kòng)製繼(jì)電器(qì)觸點(diǎn)容(róng)量(liáng)：2A  /  AC220V

7.    供電(diàn)：AC50Hz   220V±10% / 15W

8.    使用環(huán)境(jìng)：溫度-5~40℃   濕度≤90%

9.    麵板(bǎn)尺(chǐ)寸：116×96mm

10. 機(jī)箱(xiāng)尺寸(cùn)：91（寬(kuān)）×118深(shēn)）×91（高）

二． 使用(yòng)方(fāng)法

1，開機準(zhǔn)備

       將電源開(kāi)關置於“關"的(dí)位置，用規管(guǎn)電(diàn)纜將電阻規與(yǔ)本機(jī)對應連(lián)接好，用(yòng)電源(yuán)綫將(jiāng)電源(yuán)插座和(hé)本(běn)機(jī)電源(yuán)座連接。繼電器開(kāi)關(guān)量信(xìn)號輸出(chū)座與(yǔ)被控(kòng)製的執(zhí)行設備用電纜綫對應接好(hǎo)，儀器背板上(shàng)的(dí)“J1"，“J2"兩(liǎng)個繼(jì)電器輸出(chū)座各(gè)有(yǒu)一組開觸點和常閉(bì)觸(chù)點(diǎn)，供用(yòng)戶自行(háng)選擇使(shǐ)用。  

2，開(kāi)機(jī)

       接通(tōng)電源(yuán)，儀(yí)器顯(xiǎn)示“P"約3秒（預熱(rè)）後進入(rù)測量狀態。

       儀器采用以10（用E表示）為(wéi)底的指數，表示(shì)單位為(wéi)Pa的(dí)氣體壓力值（真空度）。“E"前(qián)兩位(wèi)為(wéi)係數，後兩(liǎng)位是正負(fù)指(zhǐ)數(shù)。

3，電阻真(zhēn)空(kōng)計(jì)的零點和(hé)滿度調(tiáo)校：

     請一定按照以下(xià)先調(tiáo)零點，後調(tiáo)滿(mǎn)度(dù)的秩序(xù)進行。

a.調零(líng)點(diǎn)

當確(què)定真(zhēn)空係統(tǒng)的(dí)真空度在1.0×10^-1Pa以(yǐ)上時，工(gōng)作5分(fēn)鐘後，按(àn)儀(yí)器麵(miàn)板(bǎn)（▲）（▼）   （（▲）增加數(shù)值(zhí)，（▼）減(jiǎn)少(shǎo)數值）使儀器(qì)顯示(shì)“1.0E-1"（1.0×10^-1Pa），零點調校工(gōng)作即告完(wán)成(chéng)。

b.調(tiáo)滿度

       完成了(liǎo)調(tiáo)零點(diǎn)的工(gōng)作(zuò)，將被測(cè)係(xì)統放(fàng)大(dà)氣後，讓儀(yí)器(qì)工作(zuò)5分鐘(zhōng)，按(àn)下（ATM）鍵(jiàn)，並保(bǎo)持，顯(xiǎn)示值由(yóu)原數(shù)值變為(wéi)“1.0E5"（1.0×10⁵Pa），鬆開按鍵，此(cǐ)時滿(mǎn)度(dù)調校完(wán)成(chéng)。

       一旦調節好零點(diǎn)和滿度，以後就不必(bì)再(zài)調，隻(zhī)有更換(huàn)規管(guǎn)時(shí)才(cái)需(xū)要調(tiáo)節。在(zài)調(tiáo)完零點將係統(tǒng)放大氣後，即使儀(yí)器已(yǐ)經顯(xiǎn)示(shì)“1.0E5"（1.0×10⁵Pa）,仍然(rán)需要(yào)執(zhí)行(háng)調(tiáo)滿度的(dí)步驟。

注(zhù)意：本(běn)機在(zài)出(chū)廠(chǎng)前已經調(tiáo)好(hǎo)零點(diǎn)，不(bù)需調(tiáo)試  ，由於(yú)各(gè)地(dì)氣(qì)壓(yā)不同(tóng)隻要(yào)調(tiáo)一下滿(mǎn)度即(jí)可(kě)，也(yě)可以不調(tiáo)。注(zhù)意規管號(hào)與(yǔ)相(xiāng)應(yīng)儀(yí)器配合使用(yòng)即(jí)可。  

4，控製(zhì)點(diǎn)和控(kòng)製(zhì)區域設(shè)置

      真空度用氣(qì)體的壓力(lì)值(zhí)表(biǎo)示，本機使用的壓力(lì)單(dān)位是(shì)帕(pà)(Pa)，真(zhēn)空度越高，壓力值(zhí)越(yuè)低。區(qū)域(yù)指(zhǐ)真空(kōng)的(dí)區(qū)域，上(shàng)限(xiàn)指(zhǐ)區域(yù)真(zhēn)空(kōng)度(dù)的一(yī)端(duān)（也就是(shì)氣(qì)壓值(zhí)小的(dí)一端），下(xià)限指(zhǐ)區域真(zhēn)空(kōng)度低(dī)的(dí)一端（也(yě)就是氣壓(yā)值大的一端(duān)）。  

      打開本機(jī)電(diàn)源，在(zài)窗(chuāng)口顯示“P"的(dí)3秒內，按(àn)一(yī)下(xià)麵板上(shàng)的“功能（Fun）鍵(jiàn)，進入設(shè)置狀態，窗(chuāng)口顯(xiǎn)示第1路控製的真空(kōng)區域上限(xiàn)符(fú)號“1_"，再(zài)按(àn)一下(xià)（Fun）鍵(jiàn)，顯示過(guò)去設置的(dí)真(zhēn)空(kōng)度(dù)上(shàng)限(xiàn)壓力值，其係數的(dí)整數(shù)位閃(shǎn)爍(shuò)，按(àn)（SET）鍵，在“0~9"中間選定要置入的(dí)上(shàng)限壓力值係數的整數(shù)位，再按(àn)（Fun）鍵，使係(xì)數的小數(shù)位閃(shǎn)爍，再(zài)按(àn)（Set）鍵選(xuǎn)定小數位，同樣的方(fāng)法可(kě)設定壓力值指數的正(zhèng)負號和數字位。  

設(shè)置完控製(zhì)區(qū)域(yù)上(shàng)限的(dí)壓力(lì)值(zhí)，再(zài)按(àn)（Fun）鍵(jiàn)，顯(xiǎn)示第1路控製的(dí)區域下(xià)限符(fú)號：“1^-"，用與設置(zhì)上限壓力值相同的(dí)方(fāng)法，可(kě)以(yǐ)設(shè)定(dìng)下(xià)限(xiàn)的(dí)壓力(lì)值。

設置(zhì)完成第(dì)1路控(kòng)製(zhì)的真(zhēn)空(kōng)度區(qū)域上，下限(xiàn)壓(yā)力(lì)值後(hòu)，再按“功能（Fun）鍵，顯示第2路(lù)控製區(qū)域(yù)的(dí)上限(xiàn)符號(hào)：“2-"，與(yǔ)設(shè)置第(dì)1路(lù)控(kòng)製(zhì)區域上，下(xià)限(xiàn)壓(yā)力值的(dí)方法相同，可設定(dìng)完第(dì)2路控(kòng)製(zhì)的(dí)區域上，下限(xiàn)壓力值(zhí)。  

如果(guǒ)需(xū)要設置控製(zhì)點(diǎn)，隻(zhī)需(xū)將該路控(kòng)製(zhì)的區域上(shàng)下限壓力(lì)值(zhí)均(jūn)設(shè)為(wéi)所需控(kòng)製點(diǎn)的壓(yā)力值(zhí)。

注意(yì)設(shè)置工作完成後，一(yī)定要關機保存(cún)所(suǒ)置入的數據，直(zhí)到下一(yī)次修(xiū)改。如果不關(guān)機(jī)，儀器不會(huì)從設置狀態自動(dòng)返(fǎn)回(huí)測(cè)量狀態(tài)。

5，控(kòng)製繼電器(qì)的工(gōng)作方(fāng)式

 各路(lù)控製繼電器的工作方(fāng)式(shì)是(shì)：當被(bèi)測(cè)係統(tǒng)的(dí)真空度上升至該路控製區域上繼(jì)電器吸(xī)合，當(dāng)被測係(xì)統的(dí)真空度下(xià)降至該(gāi)路(lù)控製(zhì)區(qū)域(yù)下(xià)繼電器(qì)釋放。對(duì)應(yīng)儀器(qì)輸出的(dí)兩路繼電(diàn)器控製，在麵板(bǎn)上有(yǒu)J1，J2，兩個指示燈，其(qí)工(gōng)作狀(zhuàng)態(tài)是(shì)：當(dāng)某路(lù)繼電(diàn)器(qì)動(dòng)作(zuò)時(shí)，對應的指示(shì)燈亮，復位(wèi)時，指示燈滅。  

例(lì)：

使(shǐ)用(yòng)本(běn)機(jī)輸出(chū)的第(dì)1路(lù)繼電器(qì)控製(zhì)，對如(rú)圖所示(shì)的(dí)真空(kōng)度範圍(wéi)設(shè)置區域(yù)控製，當(dāng)係統(tǒng)真空度上(shàng)升達到5Pa時(shí)，第1路(lù)控(kòng)製繼電器吸合(hé)，然後在係統真空(kōng)度(dù)下(xià)降到8Pa時(shí)，繼電(diàn)器釋(shì)放。  

下限(xiàn)符(fú)號“1^-"                                 上限(xiàn)符號“1-"

8Pa                                                      5Pa

    交(jiāo)替(tì)使用(yòng)“功能（狀(zhuàng)態）"鍵和“置數"鍵(jiàn)，在第(dì)1路(lù)控(kòng)製(zhì)的(dí)真空(kōng)度上限(xiàn)符號“1-"處(chǔ)置入(rù)“5.0E0"(5Pa),在(zài)第(dì)1路控製(zhì)的下(xià)限(xiàn)符(fú)號(hào)1^-"處(chǔ)置入(rù)“8.0E0"（8Pa）。關(guān)電源重新啟(qǐ)動，設(shè)置(zhì)完成(chéng)。

7，接綫(xiàn)說明(míng)

8，0-10伏(fú)模擬(nǐ)輸出說明   4-20毫安(ān)模(mó)擬輸出說(shuō)明(míng)

接(jiē)綫(xiàn)DB9針  2----模擬(nǐ)電(diàn)壓(yā)輸出(chū)0-5V(-)   8--模擬電壓輸出(chū)0-5v(+)

             1--模擬電(diàn)流輸(shū)出（-）     7--模擬(nǐ)電流(liú)輸出(chū)（+）

本模擬輸(shū)出是(shì)分(fēn)段綫性關(guān)係(xì)具體(tǐ)見(jiàn)下表。本模擬輸出(chū)為(wéi)0-5伏，如(rú)果需要(yào)模(mó)擬(nǐ)輸出(chū)為(wéi)0--10V。請(qǐng)將電壓乘以(yǐ)2即(jí)可。