少子壽命測試(shì)儀(yí)是款矽(guī)片少子壽命(mìng)測試(shì)儀(yí),不(bù)僅適用於(yú)矽片少(shǎo)子壽(shòu)命的(dí)測量(liáng),更適用於(yú)矽棒,矽(guī)芯,檢磷棒,檢(jiǎn)硼棒,籽(zǐ)晶等(děng)多種(zhǒng)不規(guī)則形狀矽(guī)少子壽命(mìng)的(dí)測(cè)量。
少(shǎo)子(zǐ)壽命測(cè)試儀使(shǐ)用(yòng)前的(dí)檢(jiǎn)查(chá)
開機1,檢(jiǎn)測(cè)所有(yǒu)電(diàn)源(yuán)連(lián)接(jiē)無(wú)誤後,按Power鍵依次(cì)打開DOS係(xì)統(tǒng)(上(shàng)麵(miàn))和(hé)Window係統(下麵)的(dí)控(kòng)機(jī)。
2,預熱(10分(fēn)鐘以(yǐ)上(shàng))
3,檢測前準備(bèi)(1)雙擊wintau32圖(tú)標入(rù)軟(ruǎn)件(jiàn);;(2)每(měi)次(cì)開機(jī)後Measure/Initialize行初始(shǐ)化(huà)。
少(shǎo)子(zǐ)壽(shòu)命(mìng)測試(shì)儀(yí)使用步驟
(1)接上電(diàn)源綫以及用(yòng)頻(pín)連(lián)接綫將(jiāng)CZ與(yǔ)示波(bō)器Y輸(shū)入端接通,開(kāi)啟(qǐ)示波器。
(2)將(jiāng)清潔處(chǔ)理(lǐ)後(hòu)的樣品置於電(diàn)上麵,為(wéi)提靈(líng)敏(mǐn)度,請在(zài)電(diàn)上塗(tú)抹(mǒ)點自來水(shuǐ)(注意(yì):塗水(shuǐ)不可過多,以免(miǎn)水(shuǐ)入光照孔)注意(yì):塗水不(bù)可過多(duō),以(yǐ)免(miǎn)水入光照孔(kǒng)。
(3)開(kāi)啟總電源KD,預熱15分(fēn)鐘,按下K接通(tōng)脈衝電路電(diàn)源,旋轉KW,適當(dāng)調(tiáo)電壓。關機時,要把開(kāi)關K按(àn)起關(guān)機時,按(àn)起。
(4)調(tiáo)整(zhěng)示波(bō)器(qì)電(diàn)平(píng)及(jí)釋抑(yì)時間,內(nèi)同步(bù),Y軸(zhóu)衰(shuāi)減X軸掃描速(sù)度(dù)及曲(qū)綫的上(shàng)下左右位置,使(shǐ)儀器輸(shū)出的數(shù)衰(shuāi)減(jiǎn)光(guāng)電導(dǎo)信(xìn)號(hào)波形穩(wěn)定下來。
少(shǎo)子(zǐ)壽(shòu)命(mìng)測試儀少(shǎo)子(zǐ)測量(liáng)程(chéng)從(cóng)1μs到6000μs,矽料電阻率(shuài)下(xià)限(xiàn)達0.1Ω.cm(可(kě)擴展(zhǎn)至0.01Ω.cm)。測試過(guò)程程動態(tài)曲(qū)綫監控,少子壽命測量(liáng)可靈(líng)敏地反(fǎn)映單(dān)晶體重(zhòng)金屬汙染及陷阱效(xiào)應表麵(miàn)復合效應(yīng)等(děng)缺陷情況,是原(yuán)生(shēng)多晶矽(guī)料(liào)及半(bàn)導體及太(tài)陽能(néng)拉(lā)晶企業少(shǎo)子壽命測(cè)量(liáng)儀器。